据悉阿斯麦新一代光刻机已可量产
金十数据 2 月 27 日讯，据媒体报道，荷兰光刻设备制造商阿斯麦高管表示，公司新一代极紫外光刻机已准备就绪，芯片制造商可开始将其用于大规模生产。该设备单价约 4 亿美元，为初代 EUV 机型的两倍。阿斯麦首席技术官马尔科·皮特斯称，该设备已累计加工约 50 万片硅晶圆，停机时间极低，图案精度达到量产标准。