先锋精科：拟定增募资不超过 7.5 亿元，用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目、半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目、半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目、补充流动资金。