华海清科首台面向大硅片的 8 腔室 12 英寸单片清洗机出机
近日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）首台面向大硅片制造领域的 8 腔室 12 英寸单片清洗机正式出机，发往国内该领域龙头企业。