锐科激光：子公司飞秒激光器已经在 TGV 激光制孔工艺成功应用
金十数据 5 月 28 日讯，锐科激光在互动平台表示，公司子公司上海国神光电深耕超快激光多年，坚持自主研发，精准攻克半导体精密加工痛点。国神光电的皮秒激光器已经在碳化硅晶圆切割等领域实现成熟批量应用，飞秒激光器已经在 TGV 激光制孔工艺成功应用，相关研发与量产能力持续夯实。国产超快激光正加速补齐算力制造领域的关键短板。