北方华创发布 12 英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备
金十数据 6 月 2 日讯，日前，北方华创正式发布全新 12 英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备 Acme Glaion130。设备突破三大核心技术瓶颈，覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及 AR/VR 应用场景。