半导体设备板块持续回暖 盛美上海涨超 10%创历史新高
半导体设备板块日内持续回暖，盛美上海涨超 10%，创历史新高，福光股份、精智达、盛剑科技、芯碁微装、长川科技、华峰测控跟涨。