阿斯麦与荷兰应用科学研究组织 TNO 合作推进光子芯片量产
阿斯麦（ASML）与荷兰应用科学研究组织（TNO）宣布达成合作，共同开发并推动光子芯片产业化。双方合作将围绕 TNO 位于荷兰埃因霍温高科技园区正在建设的光子芯片试验生产线展开。ASML 将分阶段提供包括 DUV 和 I-Line 光刻设备在内的制造技术支持。项目投产后，该工厂将具备 6 英寸晶圆规模的磷化铟（InP）光子芯片量产能力。