北方华创多项真空技术成果被工信部认定为工业母机典型创新案例
工业和信息化部日前正式发布“2026 年度工业母机创新产品典型案例名单”，北方华创多项真空核心技术成果入选。北方华创本次入选的成果来自真空新能源装备事业群，涵盖核心工艺装备与测试评价平台两大方向。