SK 海力士正积极扩大其 DRAM 制造中铪基高 k 前驱体的供应商范围
为打破供应链单一依赖,SK 海力士正积极扩大其 DRAM 制造中铪(Hf)基高 k(High-k,高介电常数)前驱体的供应商范围。这种前驱体长期以来一直受日本 Tri Chemical Laboratories Inc. (TCLC)公司持有的专利保护,但这些专利将于今年晚些时候到期。
 
 
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