中科飞测华中研发生产基地落户光谷
据中国光谷消息，日前，国内半导体质量控制设备领域企业——中科飞测华中研发生产基地项目落户光谷，选址武汉未来科技城，核心布局明/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备。