拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon
在今日举行的 2026 湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上，拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon，目前已应用于 NF-300M Supra-H 设备，该技术系列通过对前驱体的选择和工艺条件的控制，稳定地实现了两种填充性能不同的可流动碳膜工艺，分别为 Capi-Carbon 和 Sedi-Carbon。