中微公司丛海：近 3 到 5 年将累计开发 102 个新设备 研发总投资近 130 亿元
金十数据 10 月 14 日讯，在今日举行的 2026 湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上，中微公司资深副总裁、全球业务管理部、等离子刻蚀产品总部、外延产品部及介质薄膜产品部总经理丛海表示，中微公司现有 54 种高端设备产品系列，研发周期从 3-5 年缩短至 2 年以内，每年开发 20 多种新设备。其透露，中微在近 3 到 5 年，将累计开发 102 个新设备，研发总投资近 130 亿元。所开发的设备包括集成电路前道所需的高端设备、后道先进封装所需的设备，以及泛半导体领域所需的设备。“在今后五到十年，中微和合作伙伴共同努力，将覆盖 60%的集成电路高端设备巿场”。